Modeling of laser trimming of film resistors

Abstract

In the article the modeling application for forecasting of a trajectory of change of resistance of film resistors at trimming is considered. The scheme of modeling is developed and the models are defined, that allow to carry out a forecasting estimation of possibility to achieve the nominal value of resistance at the setting of the managing program. The method can be used in the systems of the automated design of hybrid integrated circuits and in the automated installations of laser trimming of film resistors.

About the authors

Ju. N. Antonov

Ulyanovsk State Technical University

Author for correspondence.
Email: antonov48@mail.ru

Candidate Technical Science, Senior Lecturer

Russian Federation

References

  1. Машина лазерная МЛ-1 для подгонки резисторов и SMD – компонентов. НПЦ Лазеры и аппаратура ТМ. URL: www.laserapr.ru.
  2. Анищенко, Л. М. Автоматизированное проектирование и моделирование технологических процессов микроэлектроники [Текст] / Л. М. Анищенко, С. Ю. Лавренюк, В. В. Петрухин. - М.: Радио и связь, 1995. - 176 с.
  3. Берлин, Е.В. Вакуумная технология и оборудование для нанесения и травления тонких пленок [Текст] / E.В. Берлин, С.А. Двинин, Л.А. Сейдман Л.А. – М.: Техносфера, 2007. - 176 с.
  4. Антонов, Ю. Н. Моделирование процесса лазерной подгонки резисторов гибридных интегральных схем [Текст] / Ю. Н. Антонов // Компьютерное моделирование 2004: труды 5-й Международной научно-технической конференции (Санкт-Петербург 29 июня - 3 июля). - СПб.: Изд-во «Нестор», 2004. - Ч. 2. - С. 106-109.
  5. Antonov, Y. Features of application of the laser method for normalization of accuracy of resistors in hybrid integrated circuits [Text] / Y. Antonov // Advances in Abrasive Technology VIII. ISAAT2005: international symposium (St. PetersBurg 21 - 24 June 2005). - Zuerich. Switzerland: Trans Tech Publications, 2005. - p. 643-646.

Statistics

Views

Abstract: 3127

PDF (Russian): 2260

Dimensions

PlumX

Refbacks

  • There are currently no refbacks.

Copyright (c) 2015 VESTNIK of the Samara State Aerospace University

This website uses cookies

You consent to our cookies if you continue to use our website.

About Cookies