Отправить статью по E-mail 
Моделирование лазерной подгонки пленочных резисторов
- Авторы: Антонов Ю.Н.1
-
Учреждения:
- Ульяновский государственный технический университет
- Выпуск: Том 11, № 5-2 (2012): Специальный выпуск
- Страницы: 24-28
- Раздел: МАТЕРИАЛЫ КОНФЕРЕНЦИЙ
- URL: https://journals.ssau.ru/vestnik/article/view/2284
- DOI: https://doi.org/10.18287/2541-7533-2012-0-5-2(36)-24-28
- ID: 2284
Цитировать
Полный текст
Аннотация
В статье рассмотрено применение нового метода лазерной подгонки с прогнозированием траектории изменения сопротивления пленочных резисторов. Разработана схема моделирования и определены модели, позволяющие выполнять оценку возможности достижения номинального значения сопротивления при настройке управляющей программы подгонки. Метод может быть использован в системах проектирования гибридных интегральных схем и в автоматизированных установках лазерной подгонки пленочных резисторов.
Ключевые слова
Об авторах
Ю. Н. Антонов
Ульяновский государственный технический университет
Автор, ответственный за переписку.
Email: antonov48@mail.ru
Кандидат технических наук, доцент
РоссияСписок литературы
- Машина лазерная МЛ-1 для подгонки резисторов и SMD – компонентов. НПЦ Лазеры и аппаратура ТМ. URL: www.laserapr.ru.
- Анищенко, Л. М. Автоматизированное проектирование и моделирование технологических процессов микроэлектроники [Текст] / Л. М. Анищенко, С. Ю. Лавренюк, В. В. Петрухин. - М.: Радио и связь, 1995. - 176 с.
- Берлин, Е.В. Вакуумная технология и оборудование для нанесения и травления тонких пленок [Текст] / E.В. Берлин, С.А. Двинин, Л.А. Сейдман Л.А. – М.: Техносфера, 2007. - 176 с.
- Антонов, Ю. Н. Моделирование процесса лазерной подгонки резисторов гибридных интегральных схем [Текст] / Ю. Н. Антонов // Компьютерное моделирование 2004: труды 5-й Международной научно-технической конференции (Санкт-Петербург 29 июня - 3 июля). - СПб.: Изд-во «Нестор», 2004. - Ч. 2. - С. 106-109.
- Antonov, Y. Features of application of the laser method for normalization of accuracy of resistors in hybrid integrated circuits [Text] / Y. Antonov // Advances in Abrasive Technology VIII. ISAAT2005: international symposium (St. PetersBurg 21 - 24 June 2005). - Zuerich. Switzerland: Trans Tech Publications, 2005. - p. 643-646.
Дополнительные файлы
