Отправить статью по E-mail 
Математическое моделирование процесса плазмохимического гетерогенного синтеза покрытий из плазменных потоков
- Авторы: Барвинок В.А.1, Богданович В.И.1, Китайкин В.Л.2
-
Учреждения:
- Самарский государственный аэрокосмический университет
- ОАО “Металлист-Самара”
- Выпуск: Том 1, № 1 (2002)
- Страницы: 61-67
- Раздел: ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
- URL: https://journals.ssau.ru/vestnik/article/view/6749
- ID: 6749
Цитировать
Полный текст
Аннотация
Создана физическая и математическая модель получения соединений переменного состава вакуумным ионно-плазменным методом. Конкретизация модели рассмотрена на основе синтеза покрытий из нитрида титана.
Математическая модель учитывает такие основные стадии процесса, как адсорбция, диссоциация, хемосорбция, аккомодация, распыление, поверхностная миграция.
Математическая модель позволяет определить зависимость скорости роста покрытия, степени его стехиометрии и плотности заполнения адсорбционного слоя от основных физических параметров процесса.
Об авторах
В. А. Барвинок
Самарский государственный аэрокосмический университет
Автор, ответственный за переписку.
Email: vest@ssau.ru
Россия
В. И. Богданович
Самарский государственный аэрокосмический университет
Email: vest@ssau.ru
Россия
В. Л. Китайкин
ОАО “Металлист-Самара”
Email: vest@ssau.ru
Россия
Список литературы
- Барвинок В. А., Богданович В. И. Физические основы и математическое моделирование процессов вакуумного ионно-
- плазменного напыления. М.: Машиностроение, 309 с.
- Барвинок В. А., Богданович В. И. Закономерности формирования покрытий в вакууме // Физ. хим. об-ки матер. 1986. № 5. С. 92-98.
- Богданович В. И. Разработка методологических принципов проектирования технологий формирования поверхностного слоя изделий плазменным напылением // Проблемы машиностроения и автоматизации. 1999. № 2. С. 35-41.
- Богданович В. И. Гетерогенный плазмохимический синтез нитридных покрытий из плазменных потоков // Проблемы машиностроения и автоматизации. 1999. № 1. С. 65-71.
- Барвинок В. А., Богданович В. И.Фундаментальные проблемы математического моделирования плазменных технологий высоких энергий получения покрытий // Изв. СНЦ РАН. 1999. № 1. С. 41-49.
- Робертс М., Макки Ч. Химия поверхности раздела металл-газ. М.: Мир. 1981. 539 с.
Дополнительные файлы
