Устройство контроля чистоты поверхности подложек методом трибометрии

Обложка

Цитировать

Полный текст

Аннотация

Описано трибометрическое устройство, позволяющее контролировать концентрацию органических загрязнений на поверхности диэлектрических подложек типа СТ-50, ВК-94, ВК-100, С5-1 в диапазоне 10-7-10-10 г/см2. Приведены структурная и принципиальная схемы устройства и алгоритм его функционирования. Конструкция позволяет осуществить замену подложек (исследуемого образца и зонда) в течение 60-80 с.

Об авторах

В. А. Колпаков

Самарский государственный аэрокосмический университет имени академика С.П. Королёва (национальный исследовательский университет)

Автор, ответственный за переписку.
Email: kolpakov@ssau.ru

Доктор физико-математических наук

Профессор кафедры электронных систем и устройств

Россия

А. И. Колпаков

Самарский государственный аэрокосмический университет имени академика С.П. Королёва (национальный исследовательский университет)

Email: akolpakov@yandex.ru

Кандидат технических наук

Доцент кафедры электронных систем и устройств

Россия

Н. А. Ивлиев

Самарский государственный аэрокосмический университет имени академика С.П. Королёва (национальный исследовательский университет)

Email: ivlievn@gmail.com

Аспирант кафедры технической кибернетики

Россия

С. В. Кричевский

Самарский государственный аэрокосмический университет имени академика С.П. Королёва (национальный исследовательский университет)

Email: mitrea@yandex.ru

Кандидат технических наук

Доцент кафедры электронных систем и устройств

Россия

Список литературы

  1. Синтез эталонов для контроля внеосевых сегментов асферических поверхностей [Текст] / М.А. Голуб, Н.Л. Казанский, И.Н. Сисакян, В.А. Сойфер // Оптика и спектроскопия. – 1990. – Т. 68. – № 2. – C. 461-466.
  2. Формирование эталонных волновых фронтов элементами компьютерной оптики [Текст]/ М.А. Голуб, Н.Л. Казанский, И.Н. Сисакян, В.А. Сойфер // Компьютерная оптика. – 1990. – № 7. – C. 3-26.
  3. Wavefronts forming by computergenerated optical elements [Text] / M.A. Golub, N.L. Kazanskiy, I.N. Sisakyan, V.A. Soifer // Proceedings of SPIE. – 1990. – Vol.1183. – P. 727-750. doi: 10.1117/12.963891
  4. Бородин, С.А. Устройство для анализа наношероховатостей и загрязнений подложки по динамическому состоянию капли жидкости, наносимой на ее поверхность [Текст] / С.А. Бородин, А.В. Волков, Н.Л. Казанский // Оптический журнал. – 2009. – Т. 76. – № 7. – С. 42-47.
  5. Бородин, С.А. Автоматизированное устройство для оценки степени чистоты подложки по динамическому состоянию капли жидкости, наносимой на ее поверхность [Текст] / С.А. Бородин, А.В. Волков, Н.Л. Казанский // Компьютерная оптика. – 2005. – № 28. – С. 69-75.
  6. Изотов, П.Ю. Модификация прибора индикации чистоты и гладкости оптических подложек [Текст] / П.Ю. Изотов, М.С. Глянько, С.В. Суханов // Компьютерная оптика. – 2011. – Т. 35. – №1. – С. 63-69.
  7. Глянько, М.С. Программное обеспечение для устройства контроля чистоты и шероховатости оптических подложек [Текст] / М.С. Глянько, П.Ю. Изотов // Компьютерная оптика. – 2012. – Т. 36. – № 2. – С. 242-248.
  8. Попов, В.В. Материалы и методы для создания плоских фокусирующих элементов [Текст] / В.В. Попов // Компьютерная оптика. – 1987. – № 1. – C. 160-162.
  9. A method for the diffractive microrelief forming using the layered photoresist growth [Text]/ A.V. Volkov, N.L. Kazanskiy, O.Yu. Moiseev, V.A. Soifer // Optics and Lasers in Engineering. – 1998. – Vol. 29. – №№ 4-5. – P. 281-288. doi: 10.1016/S0143-8166(97)00116-4
  10. Технология изготовления непрерывного микрорельефа дифракционных оптических элементов [Текст] / А.В. Волков, Н.Л. Казанский, В.А. Сойфер, В.С. Соловьев // Компьютерная оптика. –1 997. – № 17. – C. 91-93.
  11. Волков, А.В. Исследование технологии плазменного травления для получения многоуровневых дифракционных оптических элементов [Текст] / А.В. Волков, Н.Л. Казанский, О.Е. Рыбаков // Компьютерная оптика. – 1998. – № 18. – C. 130-133.
  12. Волков, А.В. Разработка технологии получения дифракционного оптического элемента с субмикронными размерами рельефа в кремниевой пластине [Текст] / А.В. Волков, Н.Л. Казанский, О.Е. Рыбаков // Компьютерная оптика. – 1998. – № 18. – C. 133-138.
  13. Волков, А.В. Формирование микрорельефа с использованием халькогенидных стеклообразных полупроводников [Текст] / А.В. Волков, Н.Л. Казанский, О.Ю. Моисеев // Компьютерная оптика. – 2002. – № 24. – C. 74-77.
  14. Казанский, Н.Л. Исследование особенностей процесса анизотропного травления диоксида кремния в плазме газового разряда высоковольтного типа [Текст] / Н.Л. Казанский, В.А. Колпаков, А.И. Колпаков // Микроэлектроника. – 2004. – Т. 33. – №3. – C. 209-224.
  15. Казанский, Н.Л. Исследовательский комплекс для решения задач компьютерной оптики [Текст] / Н.Л. Казанский // Компьютерная оптика. – 2006. – № 29. – C. 58-77.
  16. Formation of diffractive microrelief on diamond film surface [Text]/ V.S. Pavelyev, S.A. Borodin, N.L. Kazanskiy, G.F. Kostyuk, A.V. Volkov // Optics & Laser Technology. – 2007. – Vol. 39. – № 6. – Р.1234-1238. doi: 10.1016/j.optlastec.2006.08.004
  17. Методы изготовления элементов дифракционной оптики резанием на станках с ЧПУ [Текст] / С.Р. Абульханов, Н.Л. Казанский, Л.Л. Досколович, О.Ю. Казакова // СТИН. – 2011. – № 9. – C.20-27.
  18. Казанский Н.Л. Исследовательско-технологический центр дифракционной оптики [Текст] / Н.Л. Казанский // Известия Самарского научного центра Российской академии наук. – 2011. – Т. 13. – № 4. – C. 54-62.
  19. Bezus, E.A. Evanescent-wave interferometric nano-scale photolithography using guided-mode resonant gratings [Text] / E.A. Bezus, L.L. Doskolovich, N.L. Kazanskiy // Microelectronic Engineering. – 2011. – Vol. 88. – № 2. – Р. 170–174. doi: 10.1016/j.mee.2010.10.006
  20. Применение фокусаторов излучения при формировании нанопористых структур твердокристаллических материалов [Текст] /Н.Л. Казанский, С.П. Мурзин, В.И. Трегуб, А.В. Меженин // Компьютерная оптика. – 2007. – Т. 31. – № 2. – C. 48-51.
  21. Формирование лазерного излучения для создания наноразмерных пористых структур материалов [Текст] / Н.Л. Казанский, С.П. Мурзин, А.В. Меженин, Е.Л. Осетров // Компьютерная оптика. – 2008. – Т. 32. – № 3. – C. 246-248.
  22. Synthesis of nanoporous structures in metallic materials under laser action [Text] / N.L. Kazanskiy, S.P. Murzin, Ye.L. Osetrov, V.I. Tregub // Optics and Lasers in Engineering. – 2011. – Vol. 49. – No. 11. – Р. 1264-1267. doi: 10.1016/j.optlaseng.2011.07.001
  23. Оптимизация параметров устройства трибометрического измерения чистоты поверхности подложек [Текст] / Н.Л. Казанский, В.А. Колпаков, А.И. Колпаков, С.В. Кричевский, Н.А. Ивлиев // Компьютерная оптика. – 2005. – № 28. – C. 76-79.
  24. Исследование особенностей трибометрического взаимодействия диэлектрических подложек при экспрессконтроле степени чистоты их поверхности [Текст] / Н.Л. Казанский, В.А. Колпаков, А.И. Колпаков, С.В. Кричевский, Н.А. Ивлиев // Компьютерная оптика. – 2007. – Т. 31.– № 1. – C. 42-46.
  25. Interaction of Dielectric Substrates in the Course of Tribometric Assessment of the Surface Cleanliness [Text] / N.L. Kazanskiy, S.V. Karpeev, V.A. Kolpakov, S.V. Krichevsky, N.A. Ivliev // Optical Memory & Neural Networks (Information Optics). – 2008. – Vol. 17. – № 1. – Р. 37-42. doi: 10.1007/s12005-008-1006-6
  26. Parameter Optimization of a Tribometric Device for Rapid Assessment of Substrate Surface Cleanliness [Текст] / N.L. Kazanskiy, V.A. Kolpakov, A.I. Kolpakov, S.V. Krichevsky, N.A. Ivliev, M.V. Desjatov // Optical Memory & Neural Networks (Information Optics). – 2008. – Vol. 17. – № 2. – Р. 167-172. doi: 10.3103/S1060992X08020112
  27. Пат. 2307339 Российская Федерация, МПК7 G 01 N 19/08. Способ измерения чистоты поверхности подложек [Текст] / Н.Л. Казанский, В.А. Колпаков, С.В. Кричевский, Н.А. Ивлиев; заявитель и патентообладатель ИСОИ РАН. – № 2005118279; заявл. 14.06.05; опубл. 27.09.07, Бюл. № 27. – 5 с.
  28. Сташин В.В. Проектирование цифровых устройств на однокристальных микроконтроллерах [Текст] / В.В. Сташин, А.В. Урусов, О.Ф. Мологонцева – М.: Энергоатомиздат, 1990.

Дополнительные файлы

Доп. файлы
Действие
1. JATS XML
Скачать

© Вестник СГАУ, 2015

Данный сайт использует cookie-файлы

Продолжая использовать наш сайт, вы даете согласие на обработку файлов cookie, которые обеспечивают правильную работу сайта.

О куки-файлах