Программное обеспечение информационной системы исследования процессов формирования каталитической маски во внеэлектродной плазме

Обложка

Цитировать

Полный текст

Аннотация

Рассмотрено программное обеспечение, позволяющее проводить автоматизированный расчёт концентрационных профилей атомов полупроводника и «вакансий» в расплаве при обработке структуры «металл – полупроводник» внеэлектродной плазмой высоковольтного газового разряда и определять глубину легирования маскирующего материала в приповерхностную область полупроводника (глубины оптического микрорельефа).

Об авторах

В. А. Колпаков

Самарский государственный аэрокосмический университет имени академика С.П. Королёва (национальный исследовательский университет)

Автор, ответственный за переписку.
Email: kolpakov683@gmail.com

Доктор физико-математических наук

Профессор кафедры конструирования и технологии электронных систем и устройств

Россия

А. А. Бонячук

Самарский государственный аэрокосмический университет имени академика С.П. Королёва (национальный исследовательский университет)

Email: sprinu@mail.ru

Студент

Россия

Список литературы

  1. Попов, В.В. Материалы и методы для создания плоских фокусирующих элементов [Текст] / В.В. Попов // Компьютерная оптика. – 1987. – №1. – С. 160-162.
  2. A method for the diffractive microrelief forming using the layered photoresist growth [Теxt] / A. V. Volkov, N.L. Kazanskiy, O.Yu. Moiseyev [et al.] // Optics and Lasers in Engineering. – 1998. – Vol. 29. – №№ 4-5. – P. 281-288. doi: 10.1016/s0143-8166(97)00116-4
  3. Технология изготовления непрерывного микрорельефа дифракционных оптических элементов [Текст] / А.В. Волков, Н.Л. Казанский, В.А. Сойфер [и др.] // Компьютерная оптика. – 1997. – № 17.– С. 91-93.
  4. Волков, А.В. Исследование технологии плазменного травления для получения многоуровневых дифракционных оптических элементов [Теxt] / А.В. Волков, Н.Л. Казанский, О.Е. Рыбаков // Компьютерная оптика. – 1998. – № 18. – С. 130-133.
  5. Formation of diffractive microrelief on diamond film surface [Теxt] / V.S. Pavelyev, S.A. Borodin, N.L. Kazanskiy [et al.] // Optics & Laser Technology. – 2007. – Vol. 39. – № 6. – P.1234-1238. doi: 10.1016/j.optlastec.2006.08.004
  6. Методы изготовления элементов дифракционной оптики резанием на станках с ЧПУ [Текст] / С.Р. Абульханов, Н.Л. Казанский, Л.Л. Досколович [и др.] // СТИН. – 2011. – № 9. – С.20-27.
  7. Волков, А.В. Разработка технологии получения дифракционного оптического элемента с субмикронными размерами рельефа в кремниевой пластине [Текст] / А.В. Волков, Н.Л. Казанский, О.Е. Рыбаков // Компьютерная оптика. – 1998. – № 18. – С. 133-138.
  8. Волков, А.В. Формирование микрорельефа с использованием халькогенидных стеклообразных полупроводников [Текст] / А.В. Волков, Н.Л. Казанский, О.Ю. Моисеев // Компьютерная оптика. – 2002. – № 24. – С. 74-77.
  9. Казанский, Н.Л. Исследование особенностей процесса анизотропного травления диоксида кремния в плазме газового разряда высоковольтного типа [Текст] / Н.Л. Казанский, В.А. Колпаков, А.И. Колпаков // Микроэлектроника. – 2004. – Том 33. – №3. – С. 209-224.
  10. Bezus, E.A. Evanescent-wave interferometric nano-scale photolithography using guided-mode resonant gratings [Теxt] / E.A. Bezus, L.L. Doskolovich, N.L. Kazanskiy // Microelectronic Engineering. – 2011. – Vol. 88. – № 2. – P. 170–174. doi: 10.1016/j.mee.2010.10.006
  11. Безус, Е.А. Формирование интерференционных картин затухающих электромагнитных волн для наноразмерной литографии с помощью волноводных дифракционных решеток [Текст] / Е.А. Безус, Л.Л. Досколович, Н.Л. Казанский // Квантовая электроника. – 2011. – Т. 41. – № 8. – С. 759-764.
  12. Создание криволинейных дифракционных решеток для ультрафиолетового диапазона [Текст] / Д.В. Нестеренко, С.Д. Полетаев, О.Ю. Моисеев [и др.]//Изв. Самарского научного центра РАН. – 2011. – Т. 13. – № 4. – С. 66-71.
  13. Казанский, Н.Л. Формирование оптического микрорельефа во внеэлектродной плазме высоковольтного газового разряда [Текст]/Н.Л.Казанский, В.А. Колпаков. – М.: Радио и связь, 2009. – 220 с.
  14. Kazanskiy, N. L Studies into a Mechanism of Catalytic Mask Generation in Irradiation of an Al-Si Structure with High-Voltage Gas-Discharge Particles [Теxt] / N. L. Kazanskiy, V.A. Kolpakov, A.I. Kolpakov // Optical Memory and Neural Networks. – 2005. – Vol. 14(3). – P. 151-159.
  15. Казанский, Н.Л. Исследование механизмов формирования каталитической маски при облучении структуры алюминий-кремний частицами газового разряда высоковольтного типа [Текст] / Н.Л. Казанский, А.И. Колпаков, В.А. Колпаков // Компьютерная оптика. – 2002. – № 24. – С. 84-90.
  16. Колпаков, А.И. Исследование механизмов формирования каталитической маски микрорельефа оптических элементов при облучении структуры Al-Si частицами газового разряда высоковольтного типа [Текст] / А.И. Колпаков, Н.Л.Казанский, В.А. Колпаков // Тр. Междунар. конф. «Математическое моделирование». – Самара, – 2001. – С. 133-135.
  17. Колпаков, В.А. Исследование эффекта увлечения атомов кремния «вакансиями», возникающими в расплаве алюминия при облучении его поверхности ионно – электронным потоком [Текст] / В.А. Колпаков, А.И. Колпаков // Письма в ЖТФ. – 1999. – Т.25. – Вып. 15. – С. 58-65.
  18. Казанский, Н.Л. Комплекс программ анализа дифракционных характеристик фокусаторов [Текст] / Н.Л. Казанский, Е.Б. Самолинова // Компьютерная оптика. – 1989. – Вып.5. – С.38-43.
  19. Голуб, М.А. Структура комплекса программ синтеза элементов компьютерной оптики [Текст] / М.А. Голуб, Н.Л. Казанский, М.В. Шинкарев // Компьютерная оптика. – 1989. – Вып.5. – С.43-48.
  20. Kazanskiy, N.L. Computer-aided design of diffractive optical elements [Теxt] / N.L. Kazanskiy, V.V. Kotlyar, V.A. Soifer // Optical Engineering. – 1994. – Vol.33. – № 10. – P.3156-3166. doi: 10.1117/12.178898
  21. Software on diffractive optics and computer generated holograms [Теxt] / L.L. Doskolovich, M.A. Golub, N.L. Kazanskiy [et al.] // Proceedings of SPIE. – 1995. – Vol.2363. – P.278-284.
  22. Программный комплекс для расчета дифракционных оптических элементов с использованием высокоскоростных вычислительных средств [Текст] / С.Г. Волотовский, Н.Л. Казанский, П.Г. Серафимович [и др.] // Компьютерная оптика. – 2001. – № 22. – С. 75-79.
  23. Казанский, Н.Л. Исследовательский комплекс для решения задач компьютерной оптики [Текст] / Н.Л. Казанский // Компьютерная оптика. – 2006. – № 29. – С. 58-77.
  24. Golovashkin, D.L. Solving Diffractive Optics Problem using Graphics Processing Units [Теxt] / D.L. Golovashkin and N.L. Kazanskiy // Optical Memory and Neural Networks (Information Optics). – 2011. – Vol. 20. – No. 2. – P. 85–89. doi: 10.3103/s1060992x11020019
  25. Казанский, Н.Л. Исследовательско-технологический центр дифракционной оптики [Текст] / Н.Л. Казанский // Изв. Самарского научного центра РАН. – 2011. – Т. 13. – № 4. – С. 54-62.
  26. Kazanskiy, Nikolay L. Research and education center of diffractive optics [Теxt] / Nikolay L. Kazanskiy // Proceedings of SPIE. – 2012. – Vol. 8410. – 84100R. – doi: 10.1117/12.923233
  27. Еламова, Н.З. DELPHI 7: Первый взгляд [Текст]/ Н.З. Еламова // Компьютер пресс. – 2002. – № 10. – С. 168-172.

Дополнительные файлы

Доп. файлы
Действие
1. JATS XML
Скачать

© Вестник СГАУ, 2015

Данный сайт использует cookie-файлы

Продолжая использовать наш сайт, вы даете согласие на обработку файлов cookie, которые обеспечивают правильную работу сайта.

О куки-файлах