Экспериментальное исследование полупроводниковых структур источника питания на углероде-14


Цитировать

Полный текст

Аннотация

В статье представлены результаты исследования карбидокремниевых полупроводниковых (пористых) структур с включением углерода-14. По результатам экспериментальных измерений собраны данные о параметрах фотоволь­таического преобразования энергии квантов света в фото-ЭДС для подтверждения эффективности работы p-n-перехода, проведена оценка эффективности введения углерода-14 в молекулу карбида кремния электрофизическими измерениями. В процессе работы использована технология твердофазного преобразования поверхности монокристаллической подложки кремния в фазу монокристаллического карбида кремния посредством химического транспорта углерода-14 в среде водорода.

Об авторах

В.И. Чепурнов

Самарский национальный исследовательский университет имени академика С.П. Королева
ООО «БетаВольтаика»

Автор, ответственный за переписку.
Email: chvi44@yandex.ru

Г.В. Пузырная

Самарский национальный исследовательский университет имени академика С.П. Королева
ООО «БетаВольтаика»

Email: vaksa22@gmail.com

А.В. Гурская

Самарский национальный исследовательский университет имени академика С.П. Королева

Email: a-gurska@yandex.ru

М.В. Долгополов

ООО «БетаВольтаика»
Самарский национальный исследовательский университет имени академика С.П. Королева

Email: volopoglodahsim@mail.ru

Н.С. Анисимов

Самарский национальный исследовательский университет имени академика С.П. Королева

Email: ssau@ssau.ru

Список литературы

  1. Солнечная фотовольтаика: современное состояние и тенденции развития / В.А. Миличко [и др.] // УФН. 2016. Т. 186. № 8. С. 801–852. DOI: https://doi.org/10.3367/UFNr.2016.02.037703.Nishino S., Powel J., Will N.A. Production of large area single crystal wafers of cubic SiC for semiconductor devices // Applied Physics Letters. 1983. Vol. 42. P. 460. DOI: https://doi.org/10.1063/1.93970.Латухина Н.В., Чепурнов В.И., Писаренко Г. Перспективы старых материалов: кремний и карбид кремния // Электроника: наука, технология, бизнес. 2013. № 4(126). С. 104–110.Фотоэлектрические свойства структур с микро- и нанопористым кремнием / Н.В. Латухина [и др.] // Известия Самарского научного центра РАН. 2009. Т. 11. № 3(29). С. 66–71.Ehrenberg W., Lang C.-S., West R. The electron voltaic effect // Proceedings of the Physical Society. Section A. 1951. Vol. 64. № 4. P. 424. DOI: https://doi.org/10.1088/0370-1298/64/4/109.Moseley H.G.J., Harling J. The attainment of high potentials by the use of radium // Proc. R. Soc. Lond. A. 1913. Vol. 88. P. 471. DOI: https://doi.org/10.1098/rspa.1913.0045.Rappaport P.I., Loferski J.J., Lindery E.G. A study program of possible uses new principle // Nucleonics. 1957. Vol. 15. P. 99.A review of nuclear batteries / M.A. Prelas [et al.] // Progress in Nuclear Energy. 2014. Vol. 75. P. 117–148. DOI: https://doi.org/10.1016/j.pnucene.2014.04.007.Патент РФ №2005139163/28 от 15.12.2005. Чепурнов В.И. Способ самоорганизующейся эндотаксии моно 3С–SiC на Si подложке. Опубл. 20.10.2009, 8 (RU2370851).Долгополов М.В., Латухина Н.В., Чепурнов В.И., Гурская А.В. Способ получения пористого слоя гетероструктуры карбида кремния на подложке кремния. Патент № 2653398, получен 18.05.2018, приоритет 19.07.2016.Study of surface defects on 3C–SiC films grown on Si (III) by CVD / M.J. Hernander [et al.] // Journal of Crystal Growth. 2003. Vol. 253. № 1–4. P. 95–101. DOI: https://doi.org/10.1016/S0022-0248(03)01024-8.Epitaxial growth of β-SiC single crystals by successive two-step CVD / A. Suzuki [et al.] // Journal of Crystal Growth. Vol. 70. 1984. P. 287–290. DOI: https://doi.org/10.1016/0022-0248(84)90275-6.Hong J.D., Davis R.F. Self-diffusion of carbon-14 in high-purity and N-doped α-SiC single crystals // Journal of the American Ceramic Society. 1980. Vol. 63. № 9–10. P. 546-552. DOI: https://doi.org/10.1111/j.1151-2916.1980.tb10762.x.Hon M.H, Mater R.F. Self-diffusion of C-14 in polycrystalline β-SiC // Journal of Materials Science. 1979. Vol. 14. № 10. P. 2411–2421. DOI: https://doi.org/10.1007/BF00737031.Lely J.A. Preparation of single crystals of SiC and the effect of the kind and amount of impurities on the lattice // Ber. Dtsch. Ker. Ges. 1955. Vol. 32. P. 229–234.Addamiano A., Potter R.M., Ozarow V. Photoluminescence of α-SiC // J. Electrochem. Soc. 1963. Vol. 110. № 6. P. 517–520. DOI: https://doi.org/10.1149/1.2425804.Potter R.M., Sattele J.H. Induction-heated furnace for growth of α-silicon carbide crystals // J. Cryst. Growth. 1972. Vol. 12. P. 245-248. DOI: https://doi.org/10.1016/0022-0248(72)90009-7.Покоева В.А., Сивакова К.П. Особенности диффузионного легирования структуры SiC/Si для полупроводниковых СВЧ-датчиков фосфором и бором под действием внутреннего электрического поля // Физика волновых процессов и радиотехнических систем. 2007. Т. 10. № 2. С. 110–114.Тейтельбаум А.З., Ходунова А.В. Одновременное моделирование процессов ионного легирования и диффузионного перераспределения примесей в кремнии // Электронная промышленность. 1984. № 9. С. 41–45.Галанин Н.П., Малкович Р.Ш. Математическое моделирование диффузии двух заряженных примесей в полупроводнике с учетом внутреннего электрического поля // ФТП. 1995. Т. 20. № 5. С. 1451–1456.Гурская А.В., Долгополов М.В., Чепурнов В.И. 14C бета-преобразователь // Физика элементарных частиц и атомного ядра. 2017. Т. 48. № 6. С. 901–909Чепурнов В.И., Сивакова К.П., Ермошкин А.А. Особенности наноточечного дефектообразования в структуре por-SiC/Si, полученной по диффузионной технологии для химических датчиков // Вестник СамГУ. Естественнонаучная серия. 2011. № 2 (83). С. 179–183.Чепурнов В.И. Ассоциаты точечных дефектов различной природы в SiC-фазе полупроводниковой гетероструктуры SiC/Si, полученной методом эндотаксии // Вестник СамГУ. Естественнонаучная серия. 2014. № 7 (118). C. 145–162.Betavoltaic device in por-SiC/Si C-nuclear energy converter / A. Akimchenko [et al.] // EPJ Web of Conferences. 2017. Vol. 158. P. 06004. DOI: https://doi.org/10.1051/epjconf/201715806004.Kasap S.O. Principles of Electronic Materials and Devices. N.-Y.: McGraw-Hill Education, 2006. 768 p.

Дополнительные файлы

Доп. файлы
Действие
1. JATS XML

© Чепурнов В., Пузырная Г., Гурская А., Долгополов М., Анисимов Н., 2019

Creative Commons License
Эта статья доступна по лицензии Creative Commons Attribution 4.0 International License.

СМИ зарегистрировано Федеральной службой по надзору в сфере связи, информационных технологий и массовых коммуникаций (Роскомнадзор).
Регистрационный номер и дата принятия решения о регистрации СМИ: серия ФС 77 - 68199 от 27.12.2016.

Данный сайт использует cookie-файлы

Продолжая использовать наш сайт, вы даете согласие на обработку файлов cookie, которые обеспечивают правильную работу сайта.

О куки-файлах