Анализ методов экспресс-контроля чистоты поверхности

Обложка

Цитировать

Полный текст

Аннотация

В настоящей работе проанализированы методы экспресс-контроля чистоты поверхности подложек. Показано, что наиболее удобным для экспресс-контроля чистоты поверхности является прибор, основанный на использовании метода трибометрии путём измерения коэффициента трения скольжения. Прибор характеризуется удобной в эксплуатации конструкцией, малой длительностью проведения процесса измерения и не требует использования для своей калибровки эталонных поверхностей, очистки поверхности зонда-индентора специальными технологиями.

Об авторах

Н. А. Ивлиев

Самарский государственный аэрокосмический университет имени академика С.П. Королёва (национальный исследовательский университет)

Автор, ответственный за переписку.
Email: ivlievn@mail.ru

Аспирант кафедры технической кибернетики

Россия

В. А. Колпаков

Самарский государственный аэрокосмический университет имени академика С.П. Королёва (национальный исследовательский университет)

Email: kolpakov@ssau.ru

Доктор физико-математических наук

Доцент кафедры технической кибернетики

Россия

С. В. Кричевский

Самарский государственный аэрокосмический университет имени академика С.П. Королёва (национальный исследовательский университет)

Email: mitrea@yandex.ru

Кандидат технических наук

Доцент кафедры электронных систем и устройств

Россия

Список литературы

  1. Technology of DOE Fabrication [Текст] / D.L. Golovashkin, N.L. Kazanskiy, V.A. Soifer, V.S. Pavelyev, V.S. Solovyev, G.V. Usplenyev, and A.V. Volkov – In the book "Methods for Computer Design of Dif-fractive Optical Elements" / edited by Victor A. Soifer. – A Wiley Interscience Publication. John Wiley & Sons, Inc., 2002. – P. 267-345.
  2. Казанский, Н.Л. Исследовательский комплекс для решения задач компьютерной оптики [Текст] / Н.Л. Казанский // Компьютерная оптика. – 2006. – № 29. – С. 58-77.
  3. Казанский, Н.Л. Моделирование процесса очистки поверхности диэлектрических подложек в плазме газового разряда высоковольтного типа [Текст] / Н.Л. Казанский, В.А. Колпаков, С.В. Кричевский // Компьютерная оптика. – 2005. – № 28. – С. 80-86.
  4. Полтавцев, Ю.Г. Технология обработки поверхности в микроэлектронике [Текст] / Ю.Г. Полтавцев, А.С. Князев – Киев: Тэхника, 1990. – 192 с.
  5. Харрик, Н. Спектроскопия внутреннего отражения [Текст] / пер. с англ., Н. Харрик. – М.: Мир, 1970. – 335 с.
  6. Бородин, С.А. Исследование процесса растекания капли жидкости, наносимой на поверхность подложки [Текст] / С.А. Бородин // Компьютерная оптика. – 2006. – № 28. – С. 66-69.
  7. Бородин, С.А. Автоматизированное устройство для оценки степени чистоты подложки по динамическому состоянию капли жидкости, наносимой на ее поверхность [Текст] / С.А. Бородин, А.В. Волков, Н.Л. Казанский // Компьютерная оптика. – 2005. – № 28. – С. 70-75
  8. Казанский, Н.Л. Исследование особенностей трибометрического взаимодействия диэлектрических подложек при экспресс-контроле степени чистоты их поверхности [Текст] / Н.Л. Казанский, В.А. Колпаков, А.И. Колпаков, С.В. Кричевский, Н.А. Ивлиев // Компьютерная оптика. – 2007. – Т. 31. – № 1. – С. 42-46.
  9. Волькенштейн, Ф.Ф. Электронные процессы на поверхности полупроводников при хемосорбции [Текст] / Ф.Ф. Волькенштейн – М.: Наука, 1987. – 311 с.
  10. Жарких, Ю.С. Влияние химических обработок на гетерогенность поверхностного потенциала кремния [Текст] / Ю.С. Жарких, А.М. Пастушенко, А.В. Мисюра, Т.В. Тронько // Полупроводниковая техника и микроэлектроника. – 1977. – № 25. – С. 40-44.
  11. Жарких, Ю.С. Сравнение двух способов контроля предокислительных обработок кремниевых пластин [Текст] / Ю.С. Жарких, А.Д. Евдокимов, Ю.Г. Полтавцев, Р.О. Левитская // Оптоэлектроника и полупроводниковая техника. – 1983. – № 4. – С. 3-4.
  12. Вестфаль, О.Л. Методы и средства контроля чистоты и качества поверхности полупроводников [Текст] / О.Л. Вестфаль, А.Т. Мягков // Обзоры по электронной технике. – Сер. 6 «Материалы». – М.: ЦНИИ «Электроника», 1976. – Вып. 9(406). – 35 с.
  13. Богатырёв, А.Е. Новые методы контроля чистоты и дефектности поверхности деталей [Текст] / А.Е. Богатырёв, Л.И. Шушунова, Г.М. Цыганов // Обзоры по электронной технике. – 1980. – № 3 (707). – С. 19-27.
  14. Бородин, С.А. Устройство для анализа наношероховатостей и загрязнений подложки по динамическому состоянию капли жидкости, наносимой на её поверхность [Текст] / С.А. Бородин, А.В. Волков, Н.Л. Казанский // Оптический журнал. – 2009. – Том 76. – № 7. – С. 42-47.
  15. Перескокова, А.П. Применение трибометрического метода для контроля чистоты поверхности деталей и технологических сред [Текст] / А.П. Перескокова, Л.В. Солодовникова, А.М. Акимова // Электронная техника. Сер. 7. Технология, организация производства и оборудование. – 1979. – вып. 1. – С. 143-151.
  16. Моисеев, О.Ю. Исследование методов формирования микрорельефа дифракционных оптических элементов инфракрасного диапазона с использованием фоторезистов и фотополимерных композиций: дисс. канд. техн. наук: 01.00.01: защищена 07.06.00: утв. 26.12.00 [Текст] / О. Ю. Моисеев – Самара, 2000. – 125 с. – 05245271765.
  17. Хебда, М. Справочник по триботехнике. В 3х томах: Т.1. Теоретические основы [Текст] / под общ. ред. М. Хебды, А.В. Чичинадзе. – М.: Машиностроение, 1989. – 400 с.
  18. Колпаков, В.А. Устройство экспресс-контроля чистоты поверхности диэлектрических подложек [Текст] / В.А. Колпаков, А.И. Колпаков, С.В. Кричевский // Приборы и техника эксперимента. – 1995. – № 5. – С. 199-200.
  19. Казанский, Н.Л. Оптимизация параметров устройства трибометрического измерения чистоты поверхности подложек [Текст] / Н.Л. Казанский, В.А. Колпаков, А.И. Колпаков, С.В. Кричевский, Н.А. Ивлиев // Компьютерная оптика. – 2005. – № 28. – С. 76-79.
  20. А.с. 1821688 СССР, МКИ3 Н01 L 21/263. Способ измерения чистоты поверхности подложек [Текст] / А.В. Волков, А.И. Колпаков (СССР). – № 4809005; заявл. 02.04.90; опубл. 12.10.92, Бюл. № 22. – 2 с.
  21. Пат. 2307339 Российская Федерация, МПК7 G 01 N 19/08. Способ измерения чистоты поверхности подложек [Текст] / Н.Л. Казанский, В.А. Колпаков, С.В. Кричевский, Н.А. Ивлиев; заявитель и патентообладатель ИСОИ РАН. – № 2005118279; заявл. 14.06.05; опубл. 27.09.07, Бюл. № 27. – 5 с.
  22. Казанский, Н.Л. Формирование оптического микрорельефа во внеэлектродной плазме высоковольтного газового разряда [Текст] [Текст] / Н.Л. Казанский, В.А. Колпаков – М.: Радио и связь, 2009. – 220 с.

Дополнительные файлы

Доп. файлы
Действие
1. JATS XML
Скачать

© Вестник СГАУ, 2015

Данный сайт использует cookie-файлы

Продолжая использовать наш сайт, вы даете согласие на обработку файлов cookie, которые обеспечивают правильную работу сайта.

О куки-файлах