Установка выращивания монокристаллов германия на основе контактного метода измерения

Обложка

Цитировать

Полный текст

Аннотация

Разработана и внедрена в производство установка выращивания монокристаллов германия, по способу Чохральского, на основе контактного метода измерения текущей площади кристалла. Установка позволяет выращивать монокристаллы германия в закрытой тепловой оснастке, обеспечивая при этом необходимые низкоградиентные тепловые условия выращивания кристалла.

Об авторах

С. П. Саханский

Сибирский государственный аэрокосмический университет имени академика М.Ф. Решетнева

Автор, ответственный за переписку.
Email: vest@ssau.ru
Россия

Список литературы

  1. Патент 2128250 РФ, МПК С30 В15⁄20, 15/22, 15/26. Способ управления процессом выращивания монокристаллов германия из расплава и устройство для его осуществления [текст] / С. П. Саханский, О. И. Подкопаев, В. Ф. Петрик, 1999, № 97101248/25.
  2. Патент 2184803, РФ, МПК С30 В15⁄20, 15/22, 15/12 29/08. Способ управления процессом выращивания монокристаллов германия из расплава и устройство для его осуществления [текст] / С.П. Саханский, О.И. Подкопаев, В.Ф. Петрик, В.Д. Лаптенок, 2002, № 99123739/12.
  3. Саханский, С.П. Способ управления процессом выращивания монокристаллов германия из расплава [текст] / С.П. Саханский, О. И. Подкопаев, В. Д. Лаптенок. // В кн.: Перспективные материалы, технологии, конструкции-экономика. Сборник научных трудов / Под ред. В.В. Стацуры − Красноярск: ГАЦМиЗ, 2000. − Вып. 6. − С. 391−393.
  4. Саханский, С.П. Основные математические соотношения контактного метода управления выращиванием монокристаллов по способу Чохральского [текст] / С. П. Саханский // В кн.: Вестник Сибирского государственного аэрокосмического университета имени академика М. Ф. Решетнева / Под ред. проф. Г. П. Белякова − Красноярск: СибГАУ, 2005. − Вып. 7. − С. 85-88.
  5. Саханский, С.П. Выращивание монокристаллов в закрытой тепловой оснастке по способу Чохральского на основе контактного метода управления диаметром кристалла [текст] / С. П. Саханский, // Автоматизация и современные технологии. − 2007. − №1. − C. 38-41.
  6. Разработка прецизионного регулирования температуры с использованием светопровода [текст] // М.: Гиредмет, Отчет по НИР, тема № СКБРМ-1, 1962.

Дополнительные файлы

Доп. файлы
Действие
1. JATS XML

© Вестник СГАУ, 2015

Данный сайт использует cookie-файлы

Продолжая использовать наш сайт, вы даете согласие на обработку файлов cookie, которые обеспечивают правильную работу сайта.

О куки-файлах