Отправить статью по E-mail 
Математическое моделирование техпроцесса изготовления термостабильных резистивно-емкостных структур
- Авторы: Меркулов А.И.1, Лактанов П.В.1, Меркулов В.А.1
-
Учреждения:
- Самарский государственный аэрокосмический университет имени академика С.П. Королёва (национальный исследовательский университет)
- Выпуск: Том 10, № 7 (2011)
- Страницы: 128-132
- Раздел: ВЫПУСК БЕЗ РАЗДЕЛОВ
- URL: https://journals.ssau.ru/vestnik/article/view/2973
- DOI: https://doi.org/10.18287/2541-7533-2011-0-7(31)-128-132
- ID: 2973
Цитировать
Полный текст
Аннотация
С использованием математических методов планирования экстремальных экспериментов получена регрессионная модель второго порядка техпроцесса изготовления тонкоплёночных резистивно-ёмкостных структур. Определены технологические параметры, при которых температурный коэффициент постоянной времени структуры будет равен нулю.
Об авторах
А. И. Меркулов
Самарский государственный аэрокосмический университет имени академика С.П. Королёва (национальный исследовательский университет)
Автор, ответственный за переписку.
Email: aimerk@yandex.ru
Кандидат технических наук
Доцент кафедры конструирования и производства радиоэлектронных средств
П. В. Лактанов
Самарский государственный аэрокосмический университет имени академика С.П. Королёва (национальный исследовательский университет)
Email: pavellaktanov@gmail.com
Студент
РоссияВ. А. Меркулов
Самарский государственный аэрокосмический университет имени академика С.П. Королёва (национальный исследовательский университет)
Email: mva005@mail.ru
Аспирант
РоссияСписок литературы
- Гильмутдинов А. Х. Резистивно-емкостные элементы с распределенными параметрами: анализ, синтез и применение. Казань: Казан. гос. техн. ун-т. 2005. 151 с.
- Фрактальные элементы и радиосистемы: Физические аспекты. Монография / Под ред. А. А. Потапова. М.: Радиотехника, 2009. 200 с.
Дополнительные файлы
