Отправить статью по E-mail 
Математическое моделирование взаимодействия высокочастотного факельного разряда с элементами конструкции радиоаппаратуры
- Авторы: Костин А.В.1, Пиганов М.Н.1, Столбиков А.В.1
-
Учреждения:
- Самарский государственный аэрокосмический университет имени академика С.П. Королёва (национальный исследовательский университет)
- Выпуск: Том 10, № 7 (2011)
- Страницы: 117-122
- Раздел: ВЫПУСК БЕЗ РАЗДЕЛОВ
- URL: https://journals.ssau.ru/vestnik/article/view/2966
- DOI: https://doi.org/10.18287/2541-7533-2011-0-7(31)-117-122
- ID: 2966
Цитировать
Полный текст
Аннотация
Проведено математическое моделирование взаимодействия высокочастотного факельного разряда с элементами конструкции радиоаппаратуры типа «толстая резистивная пленка». Исследовано взаимодействие факельного разряда с пленочными структурами. Получено математическое выражение, которое связывает все физические и геометрические параметры системы «разряд-пленка-подложка» и технологический параметр.
Об авторах
А. В. Костин
Самарский государственный аэрокосмический университет имени академика С.П. Королёва (национальный исследовательский университет)
Автор, ответственный за переписку.
Email: xpehbam27@yandex.ru
Аспирант
РоссияМ. Н. Пиганов
Самарский государственный аэрокосмический университет имени академика С.П. Королёва (национальный исследовательский университет)
Email: kipres@ssau.ru
Доктор технических наук, профессор
Заведующий кафедрой конструирования и производства радиоэлектронных средств
А. В. Столбиков
Самарский государственный аэрокосмический университет имени академика С.П. Королёва (национальный исследовательский университет)
Email: kipres@ssau.ru
Аспирант
РоссияСписок литературы
- Чернобровкин, Д. И. Прибор для подгонки тонкопленочных элементов микросхем [Текст] / Д. И. Чернобровкин, Н. Д. Мишанин, М. Н. Пиганов и др.// Приборы и системы управления. 1978. №6. С. 45-46.
- Пиганов, М. Н. Подгонка сопротивления толстопленочных резисторов методом факельного разряда [Текст] / М. Н. Пиганов, А. В. Волков // Техника средств связи. Сер. «Технология производства и оборудование». 1985. № 2. С. 29-35.
- Качанов А. В. Электродинамическое описание высокочастотного разряда [Текст] / А. В. Качанов, Е. С. Трехов, Е. П. Фетисов // Физика газоразрядной плазмы. М.: Атомиздат, 1968. Вып. I. С. 39-47.
- Трехов Е. С. К теории высокочастотного факельного разряда в воздухе [Текст] / Е. С. Трехов, Е. А. Тюрин, Е. П. Фетисов // Физика газоразрядной плазмы. М.: Атомиздат, 1969. Вып. 2. С. 148-155.
- Вейко В. П. К расчету термических искажений рисунка при лазерной обработке тонких пленок [Текст] / В. П. Вейко // Физика и химия обработки материалов. 1980. № 5. С. 37-43.
- Либенсон М. Н. О термических искажениях рисунка при обработке пленок воздействием ОКГ [Текст] / М. Н. Либенсон, М. Н. Никитин // Физика и химия обработки материалов. 1970. №5. С. 9-13.
- Анисимов, С. И. Действие излучений большой мощности на металлы [Текст] / С. И. Анисимов, Я. А. Имас, Г. С. Романов, Ю. В. Ходыко. М.: Наука, 1970. 272 с.
Дополнительные файлы
