ОСОБЕННОСТИ НАНОТОЧЕЧНОГО ДЕФЕКТООБРАЗОВАНИЯ В СТРУКТУРЕ por-SiC/Si, ПОЛУЧЕННОЙ ПО ДИФФУЗИОННОЙ ТЕХНОЛОГИИ ДЛЯ ХИМИЧЕСКИХ ДАТЧИКОВ - PDF (Русский)
© Чепурнов В., Сивакова К., Ермошкин А., 2011
![Creative Commons License](http://licensebuttons.net/l/by/4.0/88x31.png)
Эта статья доступна по лицензии Creative Commons Attribution 4.0 International License.