ОСОБЕННОСТИ НАНОТОЧЕЧНОГО ДЕФЕКТООБРАЗОВАНИЯ В СТРУКТУРЕ por-SiC/Si, ПОЛУЧЕННОЙ ПО ДИФФУЗИОННОЙ ТЕХНОЛОГИИ ДЛЯ ХИМИЧЕСКИХ ДАТЧИКОВ
- Авторы: Чепурнов В.1, Сивакова К.1, Ермошкин А.2
-
Учреждения:
- Самарский государственный университет
- Самарский государственный технический университет
- Выпуск: Том 17, № 2 (2011)
- Страницы: 179-183
- Раздел: Статьи
- URL: https://journals.ssau.ru/est/article/view/4865
- DOI: https://doi.org/10.18287/2541-7525-2011-17-2-179-183
- ID: 4865
Цитировать
Полный текст
Аннотация
Гетероэпитаксиальные пленки карбида кремния на кремниевой подложке являются перспективным материалом высокотемпературной электроники. В данной работе выполнен анализ точечного дефектообразования в гомогенной фазе ß-SiC, формирующейся за счет матрицы кремния, углеводородов газовой фазы и легирующей примеси Ga в интервале температур 1360-1380 °C при нормальном давлении.
Об авторах
Виктор Иванович Чепурнов
Самарский государственный университет
Автор, ответственный за переписку.
Email: morenov.sv@ssau.ru
Ксения Петровна Сивакова
Самарский государственный университет
Email: morenov.sv@ssau.ru
Андрей Александрович Ермошкин
Самарский государственный технический университет
Email: morenov.sv@ssau.ru
Список литературы
- A Variable Potential Porous Silicon Carbide Hydrocarbon Gas Sensor / V.B. Shields [et al.] // Inst. Phys. Conv. 1996. № 7. P. 1067-1070.
- Волькенштейн Ф.Ф. Физико-химия поверхности полупроводников. М.: Наука, 1973. 399 с.
- Чепурнов В.И. Способ самоорганизующейся эндотаксии моно ЗС-БЮ на Б1 подложке. Патент РФ (1Ш2370851) № 2005139163/28 от 15.12.2005; опубл. 20.10.2009. Бюл. № 29. 8 с.
- Чепурнов В.И., Сивакова К.П. Анализ точечного дефектообразования в гомогенной фазе БгС формирующейся в процессе эндотаксии гетероструктуры Б1С/Б1 // Вестник Самарского государственного университета. Естественнонаучная серия. 2006. Т. 9(49). С. 72-91.
- Комов А.Н., Чепурнов В.И., Сивакова К.П. Влияние легирующей примеси на распределение точечных дефектов в гетероструктуре Б1С/Б1 // Вестник Самарского государственного университета. Естественнонаучная серия. 2008. № 6(65). С. 352-366.
- Третьяков Ю.Д. Твердофазные реакции. М.: Химия, 1978. 358 с.
- Чеботин В.Н. Физическая химия твердого тела. М.: Химия, 1982. 319 с.
- Ковтуненко В.П. Физическая химия твердого тела. М.: Высшая школа, 1993. 352 с.